Urządzenie o nazwie EdgeMaster produkcji Alicon to bardzo precyzyjne urządzenie pomiarowe 3D. Potrafi ono szybko i solidnie mierzyć wymiary krytyczne takie jak promienie i kąty. Promienie krawędzi >3μm można mieżyć z pionową rozdzielczością do 10nm.
Urządzenie jest stosunkowo proste w obsłudze, dlatego może być obsługiwane przez pół-wykwalifikowany personel. Wszystkie pomiary są wolne od błędów operatora. Do tego dokładne pozycjonowanie próbki nie jest wymagane.
Rozszerzone możliwości pomiarowe pozwalają na ocenę tolerancji, analizę wariancji i pomiarów symetrycznych w stosunku do oryginalnego modelu CAD.